奧騰實驗設備:線掃描平台(適合高倍率線掃描、Area飛拍)

2023.12.25

 

待測物最大尺寸: 400mm(W)*500mm(L)
有效掃描行程:300mm
平台最高速度:200mm/秒
可並排相機數量:2台
照明方式:同軸、單側光、背光
相機可傾斜角度:最大70°(垂直方向起算)
光學尺精度:0.1um
適合產品種類:Wafer、IC in tray、Micro/Mini LED面板…
適合應用方式:LineScan相機掃描、AreaScan相機高速飛拍
奧騰服務:付費樣品測試&光學設計(包括相機&光源角度、機構固定/微調、Encoder/Trigger配接…)

 

 


 

機台外觀

 

 

 

 

 

 

 

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