•適合搭配自動對焦系統 / 顯微金相鏡頭之線掃描&面陣相機取像
•適合產品種類：Wafer, COG, PSS, Laser Diode, Glass, 導電粒子檢測, Micro LED…等
•高倍率LineScan相機掃描、AreaScan相機高速飛拍（皆可搭配自動對焦系統動態取像）
•奧騰服務：付費樣品測試&光學設計（另提供自動對焦系統之客製化、光纖Light Guide的客製化)
待測物最大尺寸： 240mm(W)* 450mm(L)
有效掃描行程：250mm x 800mm (Linescan可設定掃描重複區，自動完成取得多趟掃描的全域影像)
平台最高速度：500mm/sec
照明方式：同軸、單側/雙側光、各種角度之光纖環形光、DIC微分干涉…等. 亦可搭配閃頻系統使用。
最高解析度：Linescan 3.5um/20x=0.175um/px; Areascan 2.5um/20x=0.125um/px
氣浮除震台上使用Linescan 3D檢測系統（高度解析0.5um）
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