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光學實驗設備

氣浮除震實驗平台

Anti-Vibration Optical Experiment Stage

•適合搭配自動對焦系統 / 顯微金相鏡頭之線掃描&面陣相機取像
•適合產品種類:Wafer, COG, PSS, Laser Diode, Glass, 導電粒子檢測, Micro LED…等
•高倍率LineScan相機掃描、AreaScan相機高速飛拍(皆可搭配自動對焦系統動態取像)
•奧騰服務:付費樣品測試&光學設計(另提供自動對焦系統之客製化、光纖Light Guide的客製化)

產品規格
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INFORMATION
產品資訊

 

待測物最大尺寸: 240mm(W)* 450mm(L)

有效掃描行程:250mm x 800mm (Linescan可設定掃描重複區,自動完成取得多趟掃描的全域影像)

平台最高速度:500mm/sec

照明方式:同軸、單側/雙側光、各種角度之光纖環形光、DIC微分干涉…等. 亦可搭配閃頻系統使用。

最高解析度:Linescan 3.5um/20x=0.175um/px; Areascan 2.5um/20x=0.125um/px

 

 


 

 

機台外觀

 

氣浮除震台上使用Linescan 3D檢測系統(高度解析0.5um)

 

 

 

 

 


 

 

 

1. 氣浮除震台上使用單鏡頭AF系統(光學解析度0.125um/px)

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2. 氣浮除震台上,搭配使用15K彩色Linescan(image circle 86mm) + 5x Nikon Rafact高解析鏡頭+外同軸照明+ AF系統,光學解析度1.12um/px

 

 

3. 氣浮除震台上,搭配使用Linescan相機+Nikon 10x物鏡之AF系統(光學解析度0.7um/px)

 

 

 

 

 

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